GDL

Statistical MOSFET Parameter Extraction with Parameter Selection for Minimal Point Measurement

Journal from gdlhub / 2016-11-08 02:25:39
Oleh : Marga Alisjahbana, Telkomnika
Dibuat : 2013-09-01, dengan 1 file

Keyword : ekstraksi statistik parameter MOSFET, pemantauan proses fabrikasi, pemilihan titik ukur
Url : http://journal.uad.ac.id/index.php/TELKOMNIKA/article/view/984

Suatu metode untuk mengekstrak parameter model MOSFET secara statistik dari kurva karakteristik transistor I(V) dengan jumlah titik pengukuran yang minimum, yang diambil pada saat pemantauan proses fabrikasi. Hal ini mencakup analisis sensitivitas dari model, pemilihan titik ukur, dan percobaan untuk ekstraksi parameter pada data proses fabrikasi. Ekstraksi yang dilakukan didasarkan pada suatu model kesalahan linier (linear error model), sensitvitas model MOSFET terhadap parameternya, dan iterasi Newton-Raphson. Hasil simulasi menunjukkan akurasi yang baik dari ekstraksi parameter dan ketepatan kurva I(V) untuk deviasi parameter sampai dengan 20% dari nilai nominal, termasuk untuk pergeseran proses fabrikasi sebesar 10% dari nominal.

Deskripsi Alternatif :

A method to statistically extract MOSFET model parameters from a minimal number of transistor I(V) characteristic curve measurements, taken during fabrication process monitoring. It includes a sensitivity analysis of the model, test/measurement point selection, and a parameter extraction experiment on the process data. The actual extraction is based on a linear error model, the sensitivity of the MOSFET
model with respect to the parameters, and Newton-Raphson iterations. Simulated results showed good accuracy of parameter extraction and I(V) curve fit for parameter deviations of up 20% from nominal values, including for a process shift of 10% from nominal.

Beri Komentar ?#(0) | Bookmark

Properti	Nilai Properti
ID Publisher	gdlhub
Organisasi	Telkomnika
Nama Kontak	Herti Yani, S.Kom
Alamat	Jln. Jenderal Sudirman
Kota	Jambi
Daerah	Jambi
Negara	Indonesia
Telepon	0741-35095
Fax	0741-35093
E-mail Administrator	elibrarystikom@gmail.com
E-mail CKO	elibrarystikom@gmail.com